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ZY CMP抛光液
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产品参数 | 产品规格:
项目 SO-80-PF SO-100-PF 测试方法 粒度(nm) 70-90 90-110 激光粒度仪 颗粒形貌 球形 球形 SEM /TEM pH 10.5±0.5 10.5±0.5 pH计 粘度(cps) <10 粘度计 包装规格 500ml、 25Kg、 200Kg CMP抛光液是以硅溶胶为原料,针对不同研磨材料的特性进行独特配方设计,保证抛光过程中PH值基本保持不变,从而保证抛光速率的稳定及节约抛光时间。 |
性状 | 产品特点:
1. 粒径均一(粒径分布窄,形貌呈正球状); 2. 抛光速率快(特殊配方,PH值稳定不变); 3. 高平坦化(表面质量Ra < 0.2nm, TTV < 3 u);; 4. 循环次数较多; 5. 可低温抛光 (35℃以下)。 应用范围: 配合国瑞升抛光垫产品,可广泛用于多种材料纳米级的化学机械抛光。如,蓝宝石材料、硅片、不锈钢、铝镁合金、化合物晶体等的抛光加工。 |
贮存 |